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阻抗板生產(chǎn)制作規(guī)范

時(shí)間2014/06/26
人物Terry
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多層阻抗板打樣生產(chǎn)制造 圖


1.0目的:

規(guī)范阻抗板生產(chǎn)制作,使產(chǎn)品滿足客戶要求。 

2.0范圍:

適應(yīng)于阻抗板生產(chǎn)制作及品質(zhì)接受。
 

3.0職責(zé):

QA負(fù)責(zé)指引的制訂與修改、監(jiān)督指引的實(shí)施。
生產(chǎn)部門負(fù)責(zé)指引的實(shí)施。
工藝負(fù)責(zé)監(jiān)督指引的實(shí)施與相關(guān)技術(shù)的支持。
物理室負(fù)責(zé)阻抗板的檢測(cè)和數(shù)據(jù)的記錄及統(tǒng)計(jì),提供給上司及有關(guān)部門。

4.0 阻抗板生產(chǎn)制作:

4.1投料:

4.1.1、 使用的板料類型、板料厚度、銅箔厚度必須按MI要求生產(chǎn)。
4.1.2、 阻抗板不接受自壓芯板的方式以及銅面微蝕的方式進(jìn)行制作。(壓合厚度及銅厚無法完全控制在范圍內(nèi))

 4.2內(nèi)層線路:

4.2.1 、對(duì)位曝光前菲林線寬、線隙檢測(cè),對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查,避免定位問題出現(xiàn)。
4.2.2 、對(duì)位曝光時(shí)必須先做首板QA用百位鏡檢測(cè)阻抗線寬/線距在MI所要求的范圍內(nèi)及開/短路等問題,合格才可批量生產(chǎn)。
4.2.3 、曝光生產(chǎn)過程中,每生產(chǎn)1PNL板用粘塵轆清潔菲林一次;每生產(chǎn)25PNL對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查一次和用酒精對(duì)曝光玻璃、麥拉清洗一次。
4.2.4 、阻抗板盡量避免返工。(不要采用阻抗板做曝光尺,生產(chǎn)時(shí)可采用其它板來做)
4.2.5、顯影放板時(shí)必須將有阻抗線控制那一面朝下放板,如兩面都有阻抗線的板,阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。

4.3內(nèi)層蝕刻:

4.3.1、 阻抗線寬(阻抗條及板內(nèi)阻抗線)要求控制在要求的中上限。例如:阻抗線寬要求:0.20mm,公差+/-10%,那么蝕刻后要求阻抗線寬控制在0.20mm--0.22mm之間。(因棕化時(shí)有微蝕或返工,對(duì)線寬有一定影響)
4.3.2、蝕刻放板時(shí)需將有阻抗線控制那一面朝下放板,如兩面都有阻抗線的板,阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。
4.3.3、阻抗板必須先做首板滿足要求后才能批量生產(chǎn),如不合格,需重新做首板,直到合格后才可批量生產(chǎn)。 
4.3.4、阻抗板批量生產(chǎn)過程中必須加嚴(yán)檢測(cè)頻率,每生產(chǎn)30PNL做一次線寬檢測(cè),發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)知會(huì)相關(guān)人員跟進(jìn)改善。

4.4 AOI:

4.4.1、阻抗線如有開路及缺口,可以進(jìn)行邦線,但邦線后必須加嚴(yán)檢測(cè),保證邦線后的阻抗線線寬及結(jié)合力能夠滿足要求。
4.4.2、阻抗條上如有開路及缺口,同樣必須邦線,其在后序的阻抗檢測(cè)中,檢測(cè)阻抗條的結(jié)果同樣可以代表生產(chǎn)板的阻抗情況。

4.5棕化:

4.5.1、必須先做首板確認(rèn)OK后才能批量生產(chǎn)。
4.5.2、阻抗板至多返工一次。(因前處理有微蝕,返工次數(shù)過多,會(huì)造成線幼、減少線路銅厚影響阻抗值) 

4.6壓合:

4.6.1、使用的銅箔、PP片及層壓結(jié)構(gòu)必須按MI要求生產(chǎn)。 
4.6.2、注意壓板參數(shù)的控制,盡可能保證板厚的一致性。
4.6.3、阻抗板壓合工序沒有生產(chǎn)過的板,需先做2--5PNL首板進(jìn)行壓合,壓合后給QA用長(zhǎng)臂板厚測(cè)量?jī)x全測(cè)板厚及全檢板面品質(zhì),并送物理室作微切片分析各介電層厚度、銅厚,并記錄相關(guān)數(shù)據(jù)及報(bào)告。
4.6.4、每批阻抗板經(jīng)過壓合后,QA均需按30%的比例對(duì)板厚、板面品質(zhì)檢測(cè),確認(rèn)厚度是否滿足MI要求,并進(jìn)行相關(guān)記錄,有問題及時(shí)反饋。

4.7外層線路:

4.7.1、對(duì)位曝光前菲林線寬、線隙檢測(cè),對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查,避免定位問題出現(xiàn)。
4.7.2、對(duì)位曝光時(shí)必須先做首板QA用百位鏡檢測(cè)阻抗線寬/線距在MI所要求的范圍內(nèi)及開/短路等問題,合格才可批量生產(chǎn)。
4.7.3、曝光生產(chǎn)過程中,每生產(chǎn)3PNL板用粘塵轆清潔菲林、曝光玻璃、麥拉一次;每套菲林生產(chǎn)25PNL對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查一次和用酒精對(duì)曝光玻璃、麥拉清洗一次。
4.7.4、顯影放板時(shí)必須將有阻抗線控制那一面朝下放板,如兩面都有阻抗線的板,阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。
4.7.5、生產(chǎn)的阻抗板QA抽檢時(shí)按AQL0.40 進(jìn)行抽檢,并嚴(yán)格按0收1退執(zhí)行。 

4.8圖形電鍍:

4.8.1、注意夾板方式及電鍍參數(shù)的控制,保證板面銅厚盡可能一致;如果阻抗條設(shè)計(jì)在板邊,且上夾具后有阻抗條的一邊靠近缸壁,那么電鍍時(shí)最外邊的夾具上應(yīng)夾邊條。
4.8.2、沒做過的板需做首板,按要求參數(shù)做一飛巴板后,隨機(jī)抽1PNL送物理室打切片確認(rèn)孔銅、面銅、錫厚是否合格,合格后隨機(jī)抽1-2PNL板進(jìn)行蝕刻,蝕刻時(shí)確保線寬/線距在MI要求范圍內(nèi),并送物理室進(jìn)行阻抗值檢測(cè),根據(jù)具體結(jié)果再?zèng)Q定后面如何做板。 (注:銅厚、線寬與阻抗值成反比)

4.9蝕刻: 

4.9.1 、每批阻抗板蝕刻時(shí)需做1—2PNL首板送物理室檢測(cè)阻抗值,首板生產(chǎn)時(shí)操作員需記好生產(chǎn)的參數(shù),依據(jù)阻抗儀檢測(cè)的結(jié)果來調(diào)整蝕刻參數(shù)及線寬的大小。
4.9.2、生產(chǎn)過程中停機(jī)、未連續(xù)生產(chǎn)同一型號(hào)的阻抗板達(dá)1小時(shí)或超過1小時(shí)以上需按4.9.1要求重做首板檢測(cè)阻抗值確認(rèn)OK后才能批量生產(chǎn)。
4.9.3、蝕刻工序生產(chǎn)時(shí)阻抗值控制在要求的中上限,例如:特性阻抗要求50 Ω±10%,阻抗值控制在50--55Ω之間;差分阻抗值要求90Ω±10%,阻抗值控制在90--99 Ω之間。(因綠油工序生產(chǎn)后特性阻抗會(huì)減少阻抗值2--4Ω,差分阻抗值會(huì)減少阻抗值3--8Ω)
4.9.4、蝕刻放板時(shí)需將有阻抗線控制那一面朝下放板,如兩面都有阻抗線的板,阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。
4.9.5、如果在阻抗合格的情況下,線寬偏差太大,超出MI要求范圍時(shí)則需通知ME及QA共同跟進(jìn)處理。  4.9.6、經(jīng)首板確認(rèn)阻抗值、線寬OK后批量生產(chǎn),批量生產(chǎn)時(shí)的參數(shù)需按確認(rèn)OK首板的參數(shù)生產(chǎn);生產(chǎn)過程中每生產(chǎn)50PNL送1PNL到物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量,并作記錄,如發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)人員跟進(jìn)處理。
4.9.7、每批阻抗板在蝕檢工序檢驗(yàn)時(shí),蝕檢QA按5%的比例抽板送物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量,并作記錄, 如發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)人員跟進(jìn)處理。
4.9.8、對(duì)于生產(chǎn)過程中或蝕檢QA送板到物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量,發(fā)現(xiàn)阻抗偏下線或超出最大上限時(shí)需進(jìn)行全測(cè),并作標(biāo)識(shí)分開,注明阻抗值的情況,以便綠油工序生產(chǎn)時(shí)相對(duì)調(diào)整綠油厚度控制阻抗。

4.10 綠油:

4.10.1、正常阻抗板生產(chǎn)時(shí)按正常生產(chǎn)參數(shù)和流程生產(chǎn)。
4.10.2、對(duì)于蝕刻工序生產(chǎn)過程中檢測(cè)外層阻抗偏下線或超出最大上限的板時(shí)需相對(duì)調(diào)整綠油厚度控制阻抗。但此板需先做1-2PNL首板檢測(cè)阻抗,阻抗檢測(cè)合格,按首板參數(shù)絲印綠油生產(chǎn);阻抗檢測(cè)不合格,需重新調(diào)整相關(guān)參數(shù)重做首板確認(rèn)阻抗OK后才能生產(chǎn)。 (注:綠油厚度與阻抗值成反比)

4.11 其它:

上述4.1—4.10中未設(shè)計(jì)到的其它工序按本廠的相關(guān)要求正常生產(chǎn)控制。 

5.0阻抗檢測(cè):

由工序送阻抗板到物理室,在泰克(DSA8200)阻抗測(cè)量?jī)x進(jìn)行阻抗檢測(cè)。 

6.0接受標(biāo)準(zhǔn):

6.1阻抗值公差

6.1.1、阻抗值公差MI中有特別要求時(shí),按MI要求控制。
6.1.2、當(dāng)MI中阻抗值公差沒有要求時(shí),阻抗要求值50Ω以下,允許公差為±5Ω,阻抗要求值50Ω或50Ω以上,允許公差為±10%。

6.2外層阻抗

6.2.1、蝕刻特性阻抗可以比要求阻抗值最上限大4歐姆,超出4歐姆的打報(bào)廢;蝕刻生產(chǎn)時(shí)一般要求控制在要求阻抗的中上限(因阻抗綠油生產(chǎn)后會(huì)減少阻抗值2--4Ω)。
6.2.2、蝕刻差分阻抗可以比要求阻抗值最上限大8歐姆,超出8歐姆的打報(bào)廢;蝕刻生產(chǎn)時(shí)一般要求控制在要求阻抗的中上限(因阻抗綠油生產(chǎn)后會(huì)減少阻抗值3--8Ω)。
6.2.3、蝕刻后阻抗值小于要求阻抗值最下限時(shí)打報(bào)廢處理。
6.2.4、綠油后阻抗值可以比要求的最小阻抗值小3Ω可以接受,超出的打報(bào)廢;綠油后阻抗值可以比要求的最大阻抗值大3Ω可以接受,超出的打報(bào)廢。

6.3內(nèi)層阻抗

阻抗值可以比要求的最小阻抗值小3Ω可以接受,超出的打報(bào)廢;阻抗值可以比要求的最大阻抗值大3Ω可以接受,超出的打報(bào)廢。

 7.0記錄: 

7.1《阻抗測(cè)試記錄表》

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